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激光束聚焦后光斑的大小:激光束聚集后光斑越小，激光切割精度越高，特别是狭缝越小，光斑可以达到0.01mm。
工作台的行走精度决定了激光切割的重复精度。工作台的精度越高，切割精度越高。
工件厚度越大，精度越低，切缝越大。由于激光束是锥形的，狭缝也是锥形的，所以0.3mm厚度的材料要比2mm的材料小很多。
工件材料对激光切割精度有一定的影响。在同一情况下，不同材料的切割精度略有不同。即使是同一种材料，如果材料的组成不同，切割精度也会不同。
那么，激光切割加工时如何实现高精度呢?
一是焦点位置控制技术。焦深越小，焦斑直径越小。因此，控制焦点相对于被切割材料表面的位置是非常重要的。
二是切割和穿刺技术。任何一种热切割技术，除了少数情况下可以从板材的边缘开始，一般都须在板材上通一个小孔。以前在激光冲压复合机中，先用冲床打孔，再用激光切割小孔。
第三，喷嘴设计和气流控制技术。激光切割钢时，氧气和聚焦激光束通过喷嘴射到切割材料上，形成空气光束。气流的基本要求是进入缺口的气体流量要大，流速要高，使切口材料有足够的氧化，使切口材料充分放热反应;与此同时，有足够的动量喷出熔融物质。
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